光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)最新進(jìn)展,邁向高端制造的重大突破與創(chuàng)新
摘要:國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)取得最新進(jìn)展,正在邁向高端制造領(lǐng)域的重要突破與創(chuàng)新。目前,國(guó)內(nèi)光刻機(jī)技術(shù)不斷升級(jí),性能不斷提升,已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。這一進(jìn)展對(duì)于提升國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的整體競(jìng)爭(zhēng)力具有重要意義,有望推動(dòng)國(guó)內(nèi)高端制造業(yè)的進(jìn)一...